Компенсационный микро-опто-электромеханический преобразователь линейного ускорения с магнитолевитирующим чувствительным элементом

Изобретение относится к области приборостроения, в частности к устройствам для измерения линейного ускорения. Преобразователь линейного ускорения с магнитолевитирующим чувствительным элементом на основе совместного использования оптического туннельного эффекта в контуре считывания и двух активных магнитных демпфирующих узлов, обеспечивающих магнитную левитацию, предназначен для измерения одноосевого линейного ускорения подвижного объекта и может быть использован в системе управления, например, мобильной наземной платформы, робота-манипулятора, летательного аппарата. Предлагаемый преобразователь линейного ускорения включает в себя: воспринимающий модуль (1), имеющий корпус (2); чувствительный элемент (3), являющийся инерционной массой, воспринимающей силы, индуцированные измеряемым ускорением, и представляющий собой оптическую пластину (4) с двумя магнитопроводами (5), закреплёнными на ней; два активных магнитных демпфирующих узла (6), каждый из которых содержит два электромагнита (7) и один постоянный магнит (8), закрепленные на корпусе и удерживающие чувствительный элемент в состоянии левитации за счёт магнитных сил; четырёхканальный оптический модулятор (9), в каждом канале которого находится призма полного внутреннего отражения (10), закреплённая на корпусе, принимающий оптическую мощность от источника излучения (11), поровну разделённую между четырьмя считывающими каналами при помощи оптического ответвителя (12), по подводящим оптическим волокнам (13) и передающий по отводящим оптическим волокнам (14) выходную оптическую мощность, содержащую в своих значениях информацию о положении чувствительного элемента и детектируемую фоточувствительными элементами (15); электронный блок управления и обработки (16), вычисляющий значение измеренного ускорения и формирующий компенсационные сигналы, выходы которого соединены с двумя электромагнитами двух активных магнитных демпфирующих узлов.