Способ изготовления многослойной жестко-эластичной печатной платы

Изобретение относится к приборостроению, а именно к технологии производства комбинированных плат, в которых жесткие части соединяются между собой эластичным шлейфом. Задачей изобретения является создание жестко-эластичной печатной платы с повышенной механической устойчивостью к таким деформациям, как растяжение, сжатие, изгиб и скручивание. Технический результат достигается тем, что способ изготовления включает операции травления меди фольгированного полиимида жидкостным способом и полиимида реактивно-ионным способом для достижения ширины полиимидных дорожек меандрообразной формы больше ширины медных проводников, что способствует меньшим механическим напряжениям в проводящих линиях при деформациях и необходимому ограничению растяжимости для сохранения их электрической целостности. Для высокой скорости травления металла с минимальными боковыми подтравами применяется раствор 160-240 мл деионизированной воды, 120-180 мл перекиси водорода, 15-25 г сульфаминовой кислоты и 2,5-4,5 мл соляной кислоты. Реактивно-ионное травление полиимида происходит в среде, содержащей кислород, аргон и элегаз с расходами 0,9-1,1 л/ч, 0,8-1,2 л/ч, 0,5-0,6 л/ч, соответственно, через маску меди с помощью стальной оснастки, обеспечивающей прижимное усилие и дополнительный теплоотвод. После формирования топологии внутренних сигнальных слоев печатной платы создается эластичный шлейф путем нанесения и отверждения эластичного материала толщиной 300-800 мкм и активатора адгезии для металла группы силанов. Соединение эластичного шлейфа со сформированной меандрообразной топологией в фольгированном полиимиде с жесткими частями платы из стеклотекстолита производится прессованием.