СПОСОБ ПОЛЯРИЗАЦИИ ПОЛИМЕРНЫХ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПЛАЗМЫ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА

Изобретение относится к технологии получения полимерных сегнетоэлектрических материалов и касается способа поляризации полимерных сегнетоэлектрических пленок. Полимерные сегнетоэлектрики являются аморфно-кристаллическими материалами, содержащими полярные кристаллиты, в которых проявляется сегнетоэлектрический эффект, связанный с наличием в кристаллите спонтанной поляризации, направление которой может быть изменено внешним электрическим полем. При этом процесс поляризации, после которого материал приобретает пьезоэлектрические свойства, заключается в ориентации диполей в определенном направлении. Сущность изобретения заключается в проведении процесса поляризации пленочных полимерных сегнетоэлектриков с использованием плазмы тлеющего разряда, в процессе которого происходит накопление на поверхности поляризуемого образца отрицательного электрического заряда, вытянутого из плазмы. Процесс проводится в вакуумной камере с использованием трехэлектродной системы. Технический результат заключается в повышении эффективности процесса поляризации за счет низкой вероятности пробоя образца в процессе поляризации, снижения времени обработки, отсутствия потребности в нагреве, возможности обрабатывать большие площади материала, однородности поляризации по площади образца, высокой производительности процесса. Кроме того, проведение процесса при пониженном давлении (в вакууме) дает возможность его объединения в едином вакуумном цикле с последующей операцией формирования электродов вакуумными методами нанесения тонкопленочных покрытий.