Способ повышения однородности магнитного поля, магнитная система и устройство для получения пленок

Способ, система и устройство для получения пленок относятся к области технологии ионно-плазменного напыления в вакууме и могут быть использованы при создании анизотропных магнитных пленок. Для создания магнитной системы с улучшенной однородностью поля, содержащей дополнительные магниты, использовался расчетный метод, который затем проверялся путем измерения координатных зависимостей компонент планарного поля в магнитной системе. Технический результат – улучшение однородности магнитного поля в замкнутой магнитной системе с дополнительными магнитами. 3 н.п.ф, 2 з.п.ф., 5 ил.