СПОСОБ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЙ ИЗ СТАЛИ

Изобретение относится к области машиностроения, в частности к технологическим способам упрочнения и повышения износостойкости изделий из сталей. Техническим результатом предложенного способа является реализация за один рабочий цикл модификации поверхности сталей азотированием радиочастотной индуктивно-связанной плазмой и магнетронным распылением, что увеличивает плотность тока ионов аргона до 15-20 мА/см2, позволяет обрабатывать большее (до 16) количество изделий за счёт формирования объёмного разряда и используется смесь газов аргона, азота и водорода, что способствует увеличению скорости диффузионного насыщения обрабатываемого изделия за счёт связывания атомов водорода с оксидной плёнкой на поверхности подложки и её восстановления до металлического состояния.