LEIS calculator для интерпретации энергетических спектров рассеянных на твёрдом теле ионов

Программа «LEIS calculator.exe» предназначена для элементного анализа образцов на основе энергетических спектров, полученных методом спектроскопии рассеяния и выбивания ионов. В качестве входных параметров вводятся энергия диагностического пучка, атомный номер налетающей частицы и предполагаемых частиц поверхности, а также геометрия рассеяния. Программа рассчитывает положения пиков, соответствующих элементам поверхности, на энергетическом спектре, а также сечения взаимодействия на основе экранированных кулоновских потенциалов (Kr-C, TFM, ZBL), необходимых для определения концентраций элементов. Область применения – научные и производственные ионно-пучковые установки анализа поверхности с энергиями частиц от 100 эВ до 100 кэВ.