СПОСОБ ПРОМЫШЛЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННЫХ РЕЗОНАТОРОВ И ФИЛЬТРОВ

Изобретение относится к области радиоэлектроники, в частности касается пьезотехники и может быть использовано в устройствах частотной селекции на объемных акустических волнах для фильтрации радиочастотных сигналов в диапазоне частот от 5000 до 20000 кГц. Изобретение позволяет увеличить добротность прецизионных резонаторов и фильтров до величины не менее 20 000 в интервале рабочих температур от минус 60оС до плюс 85оС, содержащих кристаллические элементы, выполненные из монокристаллов КТГС состава Ca3TaGa3Si2O14 и работающие на колебаниях сдвига по толщине за счет снижения величины шероховатости поверхности противолежащих граней и глубины нарушенного слоя пластин КТГС. Указанные пластины имеют кристаллографическую ориентацию (01.0), повернутую относительно кристаллофизической оси Y на угол β, величина которого находится в диапазоне 0°<β≤60° с точностью ± 2 угловые минуты.