Датчик быстропеременного и статического давления

Предлагаемое изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для измерения как быстропеременных, так и статических давлений жидких и газообразных сред. Сущность изобретения заключается в интеграции тензорезистивных и пьезоэлектрических тонких пленок на одном чувствительном элементе. Нижняя обкладка пьезоэлектрика, выполненная из золота с адгезионным подслоем из ванадия, формируется методом резистивного термовакуумного напыления. Затем, на полученной обкладке методом магнетронного ВЧ распыления из керамической мишени ЦТС формируются пьезоэлектрические тонкие пленки нанометрового размера. Далее, на поверхности чувствительного элемента методом взрывного испарения с ленточного вольфрамового испарителя осаждаются тонкопленочные тензорезисторы из металлосилицидного сплава К-20С с отрицательным коэффициентом сопротивления. На завершающем этапе, методом резистивного термовакуумного напыления формируются контактные площадки для тензорезисторов, а также верхняя обкладка конденсатора, методом и режимом, аналогичным формированию нижней обкладки.