Способ измерения емкости МДП структуры

Настоящее изобретение относится к измерительной технике. Способ измерения емкости МДП структуры основан на применении время-импульсной рефлектометрии, заключающейся в анализе параметров отраженного и проходного сигналов при воздействии импульсов с малой длительностью фронта на объект исследования. При этом используются две линии передачи, между которыми подключается МДП структура, линии смещаются постоянными напряжениями, на линии подаются импульсы с длительностью фронта не более 20 пс, определяются формы отраженного и проходного сигналов для вычисления емкости МДП структуры. Изобретение обеспечивает повышение точности измерения емкости за счет исключения влияния паразитных элементов, таких как последовательные сопротивление, индуктивность и емкость на землю, а также уменьшение времени цикла измерения за счет исключения подготовительных процедур, связанных с определением каких-либо опорных величин.