Способ формирования МДМ-конденсаторов в СВЧ МИС на основе структур нитрида галлия

03.12.2025

Разработанное ноу-хау относится к области микроэлектроники и может быть использовано при производстве СВЧ монолитных интегральных схем на основе структур нитрида галлия. Предложенный способ формирования МДМ-конденсаторов позволяет увеличить выход годных устройств и снизить затраты на их производство.

ГРНТИ

47.33.37 Приборы функциональной микроэлектроники

47.33.31 Интегральные микросхемы

47.09.37 Металлы, металлические сплавы и керметы для радиоэлектроники

47.09.31 Диэлектрические материалы

Ключевые слова

МДМ-конденсатор

пробивное напряжение

нитрид галлия

монолитные интегральные схемы

Детали

НИОКТР

№ 123061500018-9

Тип РИД

Секрет производства (ноу хау)

Сферы применения

Создание СВЧ монолитных интегральных схем (МИС) на основе нитрида галлия для современных систем радиолокации, радиоэлектронной борьбы, а также телекоммуникации и систем связи 5G.

Ожидается

Исполнитель

Исполнители

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ"

Заказчик

Правительство Российской Федерации

Похожие документы

Разработка технологии изготовления СВЧ интегральных микросхем и дискретных элементов на основе широкозонных полупроводников