Магнетронная распылительная система

Устройство относится к плазменной технике и предназначено для нанесения на поверхность твердых тел тонких пленок из металлов и их соединений, синтезированных в результате взаимодействия атомов, распыленных с поверхности металлического катода, с газоплазменной средой. Магнетронная распылительная система сбалансированного типа содержит анод и магнитный блок, расположенные внутри корпуса МРС под вакуумом, отличающаяся тем, что она снабжена мишенью-катодом, выполненным с возможностью герметично закрывать сверху магнитный блок, содержащий один центральный и, по меньшей мере, шесть периферийных постоянных магнитов; корпус МРС включает центральную полость цилиндрической формы, внутри которой расположено основание магнитного блока с отверстиями для установки центрального и периферийных постоянных магнитов, при этом центральный постоянный магнит установлен в отверстии в центре основания магнитного блока, а периферийные постоянные магниты установлены в отверстиях, размещённых на равном расстоянии друг от друга по окружности, блоками три через три, под углом 75° к нормали оси корпуса магнитного блока МРС. Технический результат полезной модели заключается в повышении равномерности толщины покрытия при распылении мишеней на основе систем несмешивающихся компонентов, например, Cu–Fe, что, в итоге, позволяет улучшить качество покрытия.