Топология микрочипа электрооптического модулятора лазерного излучения по схеме планарного интерферометра Маха-Цендера на основе тонкоплёночного ниобат лития и нагруженных волноводных структур из оксида титана

Микрочип модулятора лазерного излучения на основе тонкоплёночного ниобата лития представляет собой фотонную интегральную схему (ФИС) и предназначен для высокочастотной модуляции света с использованием бинарного фазового кодирования информации. Топология дает послойное трехмерное расположение пассивных и активных элементов разработанного микрочипа, в том числе она определяет геометрию дифракционных решёток для ввода/вывода излучения, планарных оптических волноводов и управляющих электродов. Особенностью топологии является применение электронной литографии на этапе формирования слоя дифракционных решёток. Функционирование изделия с предложенной геометрией элементов осуществляется следующим образом: ввод лазерного излучения в ФИС производится посредством дифракционных решёток, после чего свет распространяется по сети планарных оптических волноводов, в которой осуществляется его модуляция в рамках схемы планарного интерферометра Маха-Цендера, вывод излучения из микросхемы производится также через дифракционные решётки.