Свойства тонких пленок оксида титана (TiO₂) и аморфного углерода (a-C), осажденных с помощью дуальной магнетронной распылительной системы

Цель: разработка дуальных магнетронных распылительных систем (МРС) с различными конфигурациями магнитных полей для осаждения пленок оксида титана и аморфного углерода с высокими функциональными характеристиками. Исследованы дуальные МРС с «зеркальной» и «замкнутой» конфигурациями магнитных полей. Показана возможность управления свойствами пленок оксида титана как с помощью потока реактивного газа, так и путем изменения конфигурации магнитного поля дуальной МРС. Определены конструкция и режимы осаждения, при которых покрытия обладают высокими фотокаталитическими (ΔABS = 0,011) и оптическими свойствами (T > 75%, n = 2,4). Установлено, что с помощью дуальной МРС можно получать пленки а-С с широким диапазоном свойств. Их твердость может достигать 20 ГПа, а коэффициент трения – 0,006. Полученные покрытия имеют хорошую адгезию и износостойкость. Изменяя степень ионного воздействия, можно уменьшать коэффициент трения пленок. Изготовлены и внедрены в промышленное производство на предприятии «Argor-Aljba SA» (Швейцария) дуальные МРС для осаждения защитных и антифрикционных покрытий на детали часовых механизмов, изготовленных из мягких сплавов. Результаты могут быть использованы при производстве просветляющих и фотокаталитических покрытий, для улучшения антифрикционных свойств изделий различного назначения.