Получение золь-гель методом тонких наноструктурированных плёнок состава ZrO₂₋ₓY₂O₃, CeO₂₋ₓZrO₂ и TiO₂₋ₓZrO₂ (где x = 0 - 50 мол.%) и их хеморезистивные газочувствительные свойства при детектировании кислорода

Разработаны методы синтеза тонкоплёночных наноматериалов в системах ZrO₂ - Y₂O₃, CeO₂ - ZrO₂ и TiO₂ - ZrO₂ как перспективных рецепторных компонентов хеморезистивных газовых сенсоров для детектирования O₂ при пониженных рабочих температурах (350 - 450°С); показана эффективность применения в качестве прекурсоров гетеролигандных комплексов состава [M(O₂C₅H₇)ₓ(iOC₅H₁₁)y] (где M = Zr⁴⁺ и Y³⁺; Ce³⁺ и Zr⁴⁺; Ti⁴⁺ и Zr⁴⁺). Определены закономерности влияния состава оксидного слоя, температуры детектирования и содержания O₂ на величину резистивного отклика. Показана перспективность применения растворов алкоксоацетилацетонатов металлов в качестве функциональных чернил для ink jet печати тонких пленок состава TiO₂ - 10%ZrO₂, позволяющих получать резистивный отклик на O₂ при температурах 350 - 450ºС. Впервые комплексно исследована чувствительность к O₂ тонкой плёнки TiO₂, полученной методом молекулярного наслаивания: она позволяет детектировать O₂ при низких рабочих температурах (150 - 300ºС) с высоким откликом.