Микроэлектромеханический переключатель для сверхвысокочастотных широкополосных интегральных схем

Представленная работа направлена на разработку и исследования микроэлектромеханического переключателя для сверхвысокочастотных широкополосных интегральных схем. В работе представлен расчет механических характеристик микроэлектромеханического (МЭМ) ключа, проведена оптимизация конструкции подвижного элемента. Проведен электромагнитный анализ конструкции МЭМ ключа в диапазоне частот до 40 ГГц, на основании которого спроектирован МЭМ ключ. Предложен и разработан метод корпусирования МЭМ ключа на основе каркасной системы. Проведена разработка технологии изготовления МЭМ ключа на GaAs подложке на основе технологии изготовления GaAs СВЧ монолитных интегральных схем. По разработанной технологии изготовлен СВЧ МЭМ ключ и аттенюатор на основе СВЧ МЭМ переключателя. Проведены измерения характеристик по постоянному току и СВЧ сигналу. Полученные характеристики показали, что разработанный СВЧ МЭМ ключ имеет параметры S11 и S21 в диапазоне частот до 20 ГГц, на уровне зарубежных аналогов, а в диапазоне выше 20 ГГц, превосходит аналоги.