МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЬ С ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИМ УПРАВЛЕНИЕМ

Изобретение относится к микроэлектромеханическим системам, а именно к устройствам коммутации электрических сигналов в системах радиолокации и связи. Микроэлектромеханический переключатель с электростатическим управлением включает диэлектрическую подложку с неподвижными управляющим и коммутируемым электродами и подвижный электрод, содержащий балку, закрепленную на подложке с одного конца с помощью анкера, нависающую над управляющим и коммутируемым электродами и содержащую контактный выступ на другом конце. Управляющий электрод огибает коммутируемый электрод, а часть балки, находящаяся над управляющим электродом, расширена до размеров управляющего электрода. Подвижный электрод дополнительно содержит четное количество балок, закрепленных на подложке с одного конца с помощью анкера, половина из которых не имеет контактного выступа. Все балки соединены друг с другом расширенными частями таким образом, что каждая балка без контактного выступа располагается между балками с контактным выступом. Управляющие электроды располагаются под каждой балкой и соединены друг с другом, а коммутируемые электроды находятся только под балками, содержащими контактный выступ, и соединены друг с другом. Балки выполнены из среднеплавких металлов с температурой плавления от 600 до 1600 °С или их сплавов и имеют длину не более 100 мкм, а коммутируемые электроды и контактные выступы выполнены из благородных металлов или их сплавов. Технический результат изобретения заключается в существенном улучшении рабочих характеристик микроэлектромеханического переключателя с электростатическим управлением. Изобретение снижает величину и повышает стабильность контактного сопротивления и обеспечивает устойчивое положение подвижного электрода в замкнутом состоянии с сохранением высокого быстродействия и низкой восприимчивости к внутренним механическим напряжениям.