Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме СН4 и последующей термообработкой

Работа выполнена в Федеральном автономном образовательном учреждении высшего образования «Северо-Восточный федеральный университет имени М.К. Аммосова» (г. Якутск) под руководством к.ф-м.н. Е.П. Неустроева, доцента кафедры радиофизики и электронных систем физико-технического института ФГАОУ ВО «Северо-Восточный федеральный университет им. М.К. Аммосова». Официальные оппоненты: Клопотов Анатолий Анатольевич, д.ф-м.н., ФГБОУ ВО ТГАСУ, профессор кафедры «Прикладная механика и материаловедение», г. Томск; Иванов Юрий Федорович, д.ф-м.н., ФГБУН ИСЭ СО РАН, г.н.с. лаборатории плазменной эмиссионной электроники, г. Томск. В диссертационной работе представлена новая методика синтеза углеродных пленок осаждением в плазме метана с последующей термообработкой. Раскрыты: формирование наноструктурированных углеродных пленок термическим отжигом аморфного гидрогенизированного углерода; влияние параметров условий синтеза на электрические и оптические свойства пленок; механизмы электропроводности при низких температурах и наличие зависимостей фототоков пленок от материала подложки. Личный вклад соискателя состоит в: анализе научной литературы, планировании и постановке задач, синтезе образцов, участии с руководителем в обработке и интерпретации результатов исследования, апробации результатов, подготовке публикаций. Основные публикации: 1. Neustroev Е. Р., Burtseva Е.К., Prokopiev A.R., Soloviev B.D., Popov V.I, Timofeev V.B. Modification of graphene oxide films by radiofrequency N2 plasma / Nanotechnology. 29 (2018) 144002. 2. Неустроев E. П., Прокопьев A. P. Механизм проводимости нанографита, образованного осаждением в плазме метана и последующей термообработкой // Радиоэлектроника. Наносистемы. Информационные технологии. - 2019. - Т. 11. - №. 3. - С. 315-320. 3. Неустроев E. П., Прокопьев A. P. Свойства нанографита, образованного плазменным осаждением и последующей термообработкой //Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов. - 2019. - №. 11.-С. 629-635. 4. Neustroev Е. Р., Prokopiev A.R., Popov V.I., Davydova Z.Y., and Semenov S.O. Formation of nanographite flakes on SiO2 substrate by plasma deposition of carbon and subsequent annealing //AIP Conf. Proc. 2179 (2019) 020019. 5. Neustroev, E. P., Prokopiev, A. R., Timofeev, V. B., Popov, V.I., Kurkina, I.I., Davydova, Z.Y., and Semenov, S.O. Impact of plasma treatment in CH4/N2 on the properties of reduced graphene oxide //IOP Conf. Series. 693 (2019) 012043. 6. Neustroev E. P., Prokopiev A. R., Popov V. I. Influence of Substrates on Conductivity of Thin Carbon Films Deposited by Methane Plasma and Subsequent Annealed //J. of Physics: Conf. Series. 1611 (2020) 012006. 7. Neustroev E. P., Prokopiev A.R., Popov V.I., Protopopov F.F. and Semenov S.O. Optical properties of thin films formed by carbon deposition in methane plasma and subsequent annealing //AIP Conf. Proc. 2328 (2021) 050017. 8. Neustroev E. P., Prokopiev A.R., Popov V.I., Semenov S.O., Protopopov F.F., Andreev A.S., Savvinova N.A and Lukin E.S. Research of Properties of a Carbon Film Formed in Methane Plasma and the Following Annealing //IOP Conf. Series. 1079 (2021) 042086. 9. Прокопьев A.P. Неустроев Е.П. Патент РФ № 2794042. Способ формирования углеродных пленок плазменным осаждением атомов углерода в метане (2023) - 14 с.