ИЗУЧЕНИЕ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК УГЛЕРОДНЫХ НАНОСТРУКТУР

Объектом исследования являются углеродные наноматериалы, методы и материалы для их модификации, оптоэлектронные и электрофизические характеристики сформированных наноструктур. Целью работы является определение основных особенностей формирования углеродных наноструктур, модифицированных металлическими наночастицами, для их последующего эффективного применения в различных микроэлектронных устройствах. В работе описаны используемые методы модификации углеродных наноматериалов и их влияние на свойства структуры, приведена конструкция тестовой структуры для исследования процессов модификации углеродных наноматериалов (УНМ), представлен технологический маршрут изготовления, процессы и методы формирования на ней УНМ, их модификации, исследований и измерений. Приведены спектры комбинационного рассеяния и вольт-амперных характеристик структур УНМ, модифицированных наночастицами благородных металлов, под воздействием излучения оптического и ближнего ИК диапазона. Опубликованы научные статьи (1. G. N. Ten et all /«Influence of edge defects on Raman spectra of graphene» // Letters on Materials 10 (1), 2020 pp. 89-93; DOI: 10.22226/2410-3535-2020-1-89-93. 2. Roman M. Ryazanov et all / «Photoresistive Characteristics of Vertically-Aligned CNT Array» // 2020 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus). – IEEE, 2020. – С. 2316-2319. 3. V. A. Labunov, et al / «Effect of Liquid-Phase Oxidative Treatments on the Purity, Hydrophilicity, and Structure of Single-Wall Carbon Nanotubes and on the Electrical Conductivity of Their Arrays» // Russian Journal of Applied Chemistry, 2020, Vol. 93, No. 5, pp. 679–690; DOI: 10.1134/S1070427220050080).