Модификация микроструктуры и функциональных свойств тонкопленочных материалов на основе оксида цинка с применением комплексного подхода к их синтезу

Работа посвящена разработке компонентной базы оптоэлектроники (прозрачные электроды) и сенсорики (УФ-детекторы, пьезодатчики), базирующейся на доступном и полифункциональном полупроводниковом соединении – ZnO. Целью настоящего исследования являлась разработка физико-технологических основ для направленной модификации микроструктуры и функциональных свойств тонких пленок ZnO с применением комплексного подхода. Комплексность подхода состоит в том, что он охватывает всю цепочку процесса изготовления пленки «пресс-порошок–мишень–магнетронное распыление–пленка»..Инструментами модификации свойств тонких пленок ZnO были легирование и управление составом потока реагентов в условиях используемого метода осаждения. В результате удалось наметить и получить ряд материалов на основе ZnO со свойствами, которые делают их перспективными для применения в современных системах отображения информации и энергосберегающих технологиях, а также в устройствах УФ-детектирования и безсвинцовой пьезоэлектроники.