КОМПЛЕКСНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ И ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИХ СВОЙСТВ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР (промежуточный)

Цель: построение физической модели сенсоров низких концентраций сероводорода и паров ряда веществ (этанола, ацетона, толуола, нитроглицерина). Использованы методы магнетронного напыления пленок на AVTO 500 (Edwards), ряд операций фотолитографии, термокомпрессия и точечная сварка выводов, сборка в корпуса ТО-8. Проведен контроль толщины и микроморфологии пленок с помощью метода атомно-силовой микроскопии (Solver UV). Измерена проводимость сенсоров в зависимости от рабочей температуры и концентрации H₂S и паров ряда веществ с использованием разработанных и изготовленных в ТГУ измерительных камер и автоматизированных стендов. Выполнено комплексное изучение микроструктуры, электрических и газочувствительных характеристик пленок. В результате экспериментальных исследований разработаны предложения по применению пленок с различными катализаторами для создания селективных сенсоров перечисленных веществ.