Анализ чувствительности интегрированных многокомпонентных микрогироскопов и микроакселерометров к механическим воздействиям

Проведён анализ чувствительности микрогироскопа и микроакселерометра к вибрационным и ударным воздействиям. Поступательная вибрация основания вызывает колебания гироскопа и акселерометра с частотой вибрации, которые накладываются на информативные колебания. Применение антифазных первичных колебаний гироскопа позволяет уменьшить в выходной информации влияние вибрационных колебаний. Для обеспечения ударопрочности гироскопа и акселерометра в их конструкциях предусмотрено наличие упоров, ограничивающих перемещения элементов конструкции. Целесообразно реализовать преобразование изменения емкости в ток, при этом результат измерения полезной информации не зависит от начальной фазы генератора переменного напряжения. Шум электронных компонентов учитывается с помощью схем выборки-хранения при настройке МЭМС на холостом ходу, а затем компенсируется программно или аппаратно.