Динамика многокомпонентного микромеханического гироскопа-акселерометра с развязывающими рамками

Объект исследования - упругие подвесы микросистем и многокомпонентный гироскоп-акселерометр. Цель исследования - выработка научно обоснованных решений по проектированию многокомпонентных микромеханических гироскопов, позволяющих снизить влияние дестабилизирующих факторов. Разработаны упругие подвесы, обеспечивающие перемещение массы вне плоскости сенсора при планарной технологии изготовления микросистемы и температурном изменении собственной частоты менее 0,3%. Разработана математическая и конечно-элементная модель многокомпонентного гироскопа-акселерометра с применением развязывающих рамок между осями первичных и вторичных колебаний и размещаемого на одном кристалле, для измерения векторов угловой скорости и линейного ускорения; учитывающая влияние дестабилизирующих факторов. Методы анализа и снижения температурных погрешностей на упругие подвесы микросистем, разработанные упругие подвесы внедрены в АО «НИИПП», г. Томск; модели и методы исследования МЭМС внедрены в учебный процесс при обучении студентов по направлению 12.04.01 - Приборостроение, профиль магистратуры «Системы ориентации, стабилизации и навигации».