Обобщение и оценка результатов исследований

Объект исследования - СВЧ-транзисторы с теплоотводом на основе графенсодержащей пленки.Цель исследования - изучение тепловых свойств графенсодержащих пленок, а также разработка технологии их применения для отвода тепла, выделяющегося при работе СВЧ полупроводниковых приборов на основе GaN. В ходе выполнения работ было установлено, что операция переноса графенсодержащей пленки на рабочую поверхность нитрид-галлиевых СВЧ-транзисторов практически не оказывает влияния на ее основные параметры. Показано, что результаты проведенных экспериментальных исследований выявили качественную корреляцию с теоретическими данными. Установлено, что использование кремния в качестве подложки для роста нитрид-галлиевых структур позволит более чем втрое снизить стоимость готовой продукции по сравнению с использованием карбида кремния. Установлено, что все заданные технические показатели проекта были достигнуты.Научная новизна работы заключается в способе формирования графеновых слоев, в установлении коэффициента теплопроводности графеновых слоев при низких и комнатных температурах, а также комплексном исследовании свойств СВЧ-транзисторов на основе нитрида галлия с графеновым теплоотводом. Эффективность использования графенсодержащей пленки в качестве теплоотвода для СВЧ-транзисторов заключается в снижении температуры в канале прибора и повышении тем самым его мощности.