Развитие рентгеновских методов исследования структуры органических и неорганических слоистых систем на твердых подложках

Цель: выявление закономерных связей между условиями получения слоистых планарных наносистем и особенностями их структурной организации. Развиты и адаптированы прецизионные рентгеновские методы для исследования как упорядоченных, так и слабоупорядоченных материалов с применением лабораторных и синхротронных источников рентгеновского излучения. Разработаны: комплексный подход к исследованию слоистых систем на основе методов рентгеновской дифрактометрии, рефлектометрии, рентгенофлюоресцентного анализа, стоячих рентгеновских волн, многоволновой дифракции, картирования обратного пространства, регистрация полюсных фигур; расчетный аппарат для анализа и обработки экспериментальных кривых дифракционного отражения от многослойных наногетероструктур и эпитаксиальных пленок, анализа фазочувствительных зависимостей многоволнового взаимодействия в тонких органических пленках, анализа и обработки экспериментальных зависимостей, полученных методами стоячих рентгеновских волн и рентгеновской рефлектометрии. Проведено исследование элементов аппаратных функций двух- и трехкристальных схем при реализации их на лабораторном приборе и синхротронном источнике, а также ряда полупроводниковых структур (HEMT, КНС), органических слоистых систем (полимеры, липиды, белки) и их компонентов. Получена информация о совершенстве поверхности и реальной структуре кристаллов-подложек; изучены структурные особенности отдельных слоев и интерфейсов.