ОТЧЕТ О ПРИКЛАДНЫХ НАУЧНЫХ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЯХ«Оборудование и цифровые технологии изготовления элементов наноградиентной оптики и из метаматериалов для приборов индивидуализированной медицины, технологий здоровьесбережения и космической фотоники». Этап 1: «Обоснование и выбор направления исследований. Теоретические и экспериментальные исследования цифровых технологий изготовления элементов наноградиентной оптики и из метаматериалов». Шифр «2018-14-000-0001-279» (промежуточный)

Проведен аналитический обзор современной научно-технической, нормативной, методической литературы, затрагивающей исследуемую научно-техническую проблему, в том числе научных информационных источников - статей в ведущих зарубежных и (или) российских научных журналах, монографий и (или) патентов. Обоснован выбор направления исследований, оборудования и цифровых технологий (ЦТ) для изготовления элементов наноградиенной оптики (ЭНО) и оптики из метаматериалов (ЭММ) для приборов индивидуализированной медицины, технологий здоровьесбережения и космической фотоники. Согласованы функциональные характеристики разрабатываемых ЭНО и ЭММ для космической фотоники с консорциумом предприятий космической отрасли. Разработана многоуровневая математическая модель технологического процесса изготовления ЭНО и ЭММ на автоматизированной вакуумно-ионной установке (АВИУ) по ЦТ. Проведено экспериментальное компьютерное моделирование инфраструктурных систем технологического процесса изготовления ЭНО и ЭММ на АВИУ по ЦТ: экспериментальных образцов цифровых блока электропитания и блока управления газовой системой АВИУ. Проведено экспериментальное компьютерное моделирование технологического процесса изготовления ЭНО и ЭММ на АВИУ по ЦТ и ее основных элементов - магнетронных систем распыления с 3D-управляемой эмиссией, ионно-фотонной системы обработки наносимых наноструктур, устройства (цифровой датчик) измерения in situ функциональных характеристик ЭНО и ЭММ на АВИУ. Уточнены функциональные характеристики элементов АВИУ: магнетронных систем распыления с 3D-управляемой эмиссией, ионно-фотонной системы обработки наносимых наноструктур, устройства (цифровой датчик) измерения in situ функциональных характеристик ЭНО и ЭММ. Разработана конструкторская документация на экспериментальные образцы ЭНО и ЭММ на АВИУ по ЦТ, технологическую оснастку камеры АВИУ с функциональными зонами очистки, магнетронного распыления, ионно-фотонной и ионно-лучевой обработки. Разработано и утверждено соглашение о функциональных характеристиках разрабатываемых ЭНО и ЭММ для космической фотоники с консорциумом предприятий космической отрасли. Предложены программа и методики исследовательских испытаний (ПМ ИИ) экспериментальных образцов ЭНО и ЭММ на АВИУ по ЦТ, а также элементов АВИУ, обеспечивающих изготовление ЭНО и ЭММ, - магнетронных систем распыления с 3D-управляемой эмиссией, ионно-фотонной системы обработки наносимых наноструктур, устройства (цифровой датчик) измерения in situ функциональных характеристик ЭНО и ЭММ на АВИУ.