Разработка модуля управления оптическим излучением на базе МЭМС технологии

Объектом разработки и исследования НИОКР является модуль управления оптическим излучением на базе МЭМС технологии, предназначенный для управления широкими оптическими пучками (некогерентными) различных спектральных диапазонов.Целью проведения НИОКР является разработка модуля быстрого переключения плоского светового потока высокой мощности (до 30кГц).Необходимость разработки сложно-функционального модуля обусловлена тем, что в движущихся элементах микро зеркала затруднен отвод тепла за счет теплопроводности по элементам конструкции. Поэтому в условиях облученности от мощного светового потока в состав модуля включено устройство термостабилизации элементов МЭМС, так как даже незначительная температурная деформация зеркала приводит к нарушению плоскостности светового потока. Применение МЭМС технологии позволяет интегрировать на одном кристалле, как саму матрицу микрозеркал, так и систему управления их углом поворота с системой управления охлаждением.На этапе №1 НИОКР в рамках гранта №424ГР/57265 от 20.02.2020 были выполнены следующие работы: разработана технологическая документация формирования тестовых структур с функциональными слоями для микрозеркала; проведена отработка режимов технологических операций формирования тестовых структур с функциональными слоями для микрозеркала; проведены исследования тестовых структур с функциональными слоями для микрозеркала; разработана документация эскизного проекта на модуль управления оптическим излучением; разработана топология тестовых структур микрозеркала.Выполненные работы позволят обеспечить создание модуля управления оптическим излучением на базе МЭМС технологии.