ОТЧЕТ О НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОЙ РАБОТЕ по теме: "Разработка конструкции и технологии эффективных узлов ввода-вывода для фотонных интегральных схем на технологической платформе InP"

Цель работы – разработка конструкции и технологии эффективных узлов ввода-вывода для фотонных интегральных схем на технологической платформе InP. На втором этапе проведены измерения экспериментальных образцов. Рассчитаны и изготовлены тестовые образцы с линейками интегральных модуляторов Маха-Цендера с узлами разветвителя и сумматора на основе многомодовой интерференции. Отработаны основные технологические операции при процессирования рабочих образцов ФИС с линейкой интегральных модуляторов Маха-Цендера. Скорректированы режимы плазмохимического травления, операции разделения на кристаллы. Определена точность изготовления топологий не хуже 70 нм. Проведена коррекция технологической и конструкторской документации. Оптические потери в активном волноводе образцов фотонной интегральной схемы с линейкой интегральных модуляторов Маха-Цендера на основе pin-гетероструктур составили 8,3 дБ/см. Минимальные потери оптического излучения на ввод в кристалл составили (2,0 ± 1,0) дБ на длине волны 1,549 мкм. Проведена технико-экономическая оценка рыночного потенциала полученных результатов и представлено заключение о технологичности и масштабируемости проекта для применения в производстве. Разработан проект ТЗ на проведение ОКР. В результате выполнения работ цели и задачи, определенные техническим заданием, выполнены в полном объеме. Результаты НИР будут использованы в АО «НИИ Полюс им. М.Ф. Стельмаха» при разработке фотонных и радиофотонных компонент с торцевым вводом и выводом излучения.