Разработка новых тонкоплёночных газовых сенсоров с низким энергопотреблением для информационных мобильных систем и жидкофазных биосенсоров для анализа биологических жидкостей (часть 1: фундаментальные исследования) (заключительный)

Объект исследования и разработки - полупроводниковый газовый сенсор с чувствительным слоем на основе тонких пленок высокодисперсных оксидов металлов; тонкие плёнки нанокристаллического диоксида олова модифицированого оксидами палладия и рутения Цель работы - Разработка методики получения новых тонкоплёночных полупроводниковых нанокомпозитов с контролируемой пористостью и толщиной плёнки на микроэлектронный чип, позволяющих детектировать широкий спектр токсичных NO2, H2S, CO, NH3 газов. Методы или методология проведения работы - аналитический (на базе литературно-патентного анализа) и экспериментально - сравнительный (на базе проведенного эксперимента) методы. В соответствии с планом-графиком работ, на втором этапе выполнения фундаментальной части проекта были проведены исследования по выявлению особенностей синтеза пористых пленок , ZnO, SnO2, с толщиной, контролируемой в диапазоне 100-1000 нм., с размером пор до 50 нм. Разработана методика иммобилизации каталитических кластеров на поверхности оксидных матриц. Область применения - Разработанные материалы будут использованы для создания прототипов газовых сенсоров, которые будут испытаны в лабораторных условиях для детектирования основных загрязнителей воздуха. Экономическая эффективность – проект направлен на разработку новых тонкопленочных сенсорных материалов, позволяющих детектировать широкий спектр токсичных NO2, H2S, CO, NH3 и взрывоопасных газов H2, CH4 при температуре 20-50С с энергопотреблением менее 20mW.