Разработка полупроводниковых газовых сенсоров на основе наноструктур оксида цинка

Цель работы – разработка методики изготовления полупроводникового газового сенсора на основе оксида цинка, способного обнаружить в атмосфере пары летучих органических соединений (этанол, изопропанол, ацетон, бутанол); изготовление макетного образца. Задачи работы: - в рамках золь-гель технологии разработать методику получения тонкоплёночных наноструктурированных чувствительных элементов газовых сенсоров на основе оксида цинка; - изготовить макетные образцы сенсорных элементов; - исследовать чувствительность полученных образцов к парам летучих органических соединений. Результаты НИР: – методика изготовления газочувствительного слоя на основе оксида цинка в рамках золь-гель метода, учитывающая физико-химические закономерности формирования золей оксида цинка; – методика изготовления газоаналитического чипа с чувствительным элементом на основе оксида цинка с иерархической структурой.