Фундаментальные основы проектирования тонкопленочных покрытий с дифракционными решетками для современных технологий

Рассматривалась задача расчета оптических и лазерных элементов на основе комбинаций многослойных покрытий и дифракционных решеток с несколькими штрихами в периоде решетки. Предложен, разработан и обоснован новый метод решения задачи дифракции электромагнитной волны на дифракционной решетке с многослойной подложкой и несколькими штрихами в периоде - модифицированный метод разделения переменных. Исходная двумерная задача сводится к решению вспомогательной задачи сопряжения на собственные значения для одномерного дифференциального оператора второго порядка с разрывными коэффициентами. Собственные значения определяются численно как решения некоторого характеристического уравнения, зависящего от одной вещественной переменной. Далее, собственные функции и решения исходной двумерной задачи получаются аналитически. Преимущество данного подхода заключается в "минимальном" использовании численных процедур, что позволяет построить быстрые вычислительные алгоритмы. Возможно решение задачи дифракции на структуре с произвольным количеством различных по ширине и электромагнитным характеристикам "штрихов".