Разработка технологии формирования интегральных оптических волноводов с низкими оптическими потерями и элементов на их основе

Объект исследования - материалы и устройства активной фотоники. Цель работы - разработка и создание энергонезависимых быстродействующих реверсивно реконфигурируемых элементов и интегральных фотонных схем, совместимых с технологией кремниевой микроэлектроники. В ходе выполнения 2-го этапа НИР проекта: разработаны конструктивно-технологические подходы, отработана технология формирования и проведено изготовление интегральных оптических волноводов с низкими оптическими потерями для базовых пассивных интегрально- оптических элементов, в том числе кольцевых микрорезонаторов; установлено влияния постоянного лазерного излучения на процессы лазерной модификации поверхности формируемых тонкопленочных структур и установлена связь данных процессов как с параметрами лазерных импульсов, так и с составом и структурой материалов, на которые они воздействуют; рассчитана геометрии структуры активных дифракционных элементов и метаповерхностей на основе халькогенидных фазопеременных слоев; разработаны и отработаны технологии формирования активных оптических дифракционных элементов и метаповерхностей протяженностью с протяженностью от 20 мкм до 5 мм с применением и без применения литографических процессов и плазмохимического травления; разработана конструкция и технологический маршрут изготовления перестраиваемых интегральных фотонных схем, состоящих из набора волноводных интегрально-оптических элементов и реконфигурируемых фазопеременных халькогенидных пленок. Результаты проекта опубликованы в виде 5 статей в журналах, индексируемых в Scopus, два из которых входят в Q1, одной заявки на патент на изобретение и одной кандидатской диссертации, находящейся на рассмотрении в диссертационном совете, а также были представлены в виде 10 докладов на научно-технических конференциях. Область применения – индустрия наносистем. Значимость работы – проводимые в рамках проекта исследования позволят осуществить переход к следующему этапу разработки подходов к применению фазопеременных материалов для создания элементов интегральной фотоники и прикладной оптики, а также технологии высокостабильных энергоэффективных микрооптических устройств и энергонезависимых активных интегральных фотонных схем.