Подготовка экспериментальных образцов волноводных планарных делителей к измерениям оптических параметров, Проведение измерений оптических параметров экспериментальных образцов волноводных планарных делителей, Разработка топологии оптической фазовой решётки, Изготовление фотошаблонов для создания экспериментальных образцов оптической фазовой решётки, Разработка технологического маршрута изготовления экспериментальных образцов оптической фазовой решётки, Разработка и изготовление технологической оснастки для проведения измерений экспериментальных образцов оптической фазовой решётки.

Объектом исследования является технология изготовления экспериментальных образцов планарных интегрально-оптических фазовых решёток для использования в LiDAR-системах. Научно-технической задачей данного проекта является разработка отечественной управляемой планарной интегрально-оптической фазовой решётки на базе кремниевой фотоники для последующего использования в твердотельных LiDAR-системах. Целью НИОКР является разработка и изготовление экспериментальных образцов планарных интегрально-оптических фазовых решеток для использования в LiDAR-системах. В ходе выполнения НИОКР получены следующие результаты: - Проведена подготовка экспериментальных образцов волноводных планарных делителей к измерениям оптических параметров по разработанной методике; - Проведены измерения оптических параметров экспериментальных образцов волноводных планарных делителей; - Разработана топология оптической фазовой решётки; - Изготовлен фотошаблон для создания экспериментальных образцов оптической фазовой решётки; - Разработаны технологические маршруты изготовления экспериментальных образцов оптической фазовой решётки; - Разработана и изготовлена технологическая оснастка для проведения измерений экспериментальных образцов оптической фазовой решётки. Разрабатываемые экспериментальные образцы могут применяться в составе систем лазерного формирования трехмерных моделей пространства, датчиков позиционирования и дальномерных систем. Разработка технологии для дальнейшего развития отечественного производства твердотельных LiDAR-систем, позволит впоследствии создать полностью отечественный конкурентоспособный продукт, способный заменить импортные изделия российскими аналогами и снизить зависимость от иностранных поставщиков. В рамках завершающего этапа проекта планируется проведение отработки технологии изготовления фазовращателей для последующего изготовления экспериментальных образцов оптической фазовой решётки, разработка технической документации, включающей в себя техническое задание на изготовление экспериментальных образцов оптической фазовой решётки, техническое задание на выполнение ОКР, направленных на разработку конечной продукции, комплект эскизной конструкторской документации на изготовление экспериментального образца оптической фазовой решётки, а также будет проведена подготовка экспериментальных образцов оптической фазовой решётки для последующего проведения измерений оптических параметров.