Разработка методики компенсации деформации в многослойных структурах на участке фотолитографии для применения в производстве печатных плат.

Печатные платы являются центральным элементом любого электронного устройства, обеспечивающим его работоспособность. Поэтому их надежность является критически важным аспектом при производстве электроники. В работе рассмотрены и проанализированы основные причины и факторы, влияющие на появление деформаций конструкции печатных плат в процессе их изготовления. Разработан и формализован метод построения математических моделей, позволяющих оценить надежность печатной платы в зависимости от параметров ее проектирования и характеристик технологического процесса их изготовления. На основе технологии масочной стереолитографии разработана конструкция системы прямого экспонирования, использующая для селективной полимеризации фоторезиста жидкокристаллическую (ЖК) матрицу, предложены и проверены алгоритмы совмещения шаблона с заготовкой и компенсации деформации заготовки по реперным отверстиям для технологического процесса изготовления двусторонних печатных плат тентинг-методом. Путем экспериментального тестирования определена теоретическая точность позиционирования шаблона ±300 мкм и подтверждена работоспособность предложенных алгоритмов для переноса проводящего рисунка, соответствующего требованиям к печатным платам третьего класса точности по ГОСТ Р 53429–2009.