Математическая модель струйного ВЧИ-разряда пониженного давления с учетом слоя положительного заряда у поверхности твердого тела

"Объектом исследования является низкотемпературная высокочастотная плазма. Цель работы - обработка и обобщение полученных ранее экспериментальных и численных данных по струйному ВЧИ-разряду пониженного давления, формулировка положения и выводы диссертационной работы, научные основы создания струйного ВЧИ-разряда пониженного давления и технологические основы применения полученных результатов при создании и внедрении конструкций ВЧИ-плазменных установок и технологических процессов модификации твердых тел. Проведена обработка и обобщение полученных ранее экспериментальных и численных данных по струйному ВЧИ-разряду пониженного давления, формулировка положений и выводов диссертационной работы, научных основ создания струйного ВЧИ-разряда пониженного давления и технологических основ применения полученных результатов при создании и внедрении конструкций ВЧИ-плазменных установок и технологических процессов модификации твердых тел. Полученные научные результаты: 1. Разработаны научные основы создания струйного ВЧИ-разряда пониженного давления как новой разновидности ВЧ-разряда, 2. Разработана единая математическая модель струйного ВЧИ-разряда пониженного давления с учетом переходного режима течения в диапазоне чисел Кнудсена для несущего газа 1,6х10-2 < Кn < 4,8x10-1, влияния электромагнитного поля на функцию распределения электронов по энергиям, влияния метастабильных атомов и ионов на баланс энергий и частиц в разряде, потенциальной и вихревой компонент электрического поля.