Математическая модель струйного ВЧИ-разряда пониженного давления с учетом слоя положительного заряда у поверхности твердого тела

Одним из эффективных способов улучшения характеристик материалов является их обработка с помощью низкотемпературной плазмы. В частности, струйные ВЧ-индукционные (ВЧИ) разряды при пониженном давлении (13,3—133 Па) применяются для модификации функциональных и эксплуатационных свойств широкого спектра материалов. Целью проекта является обработка и обобщение полученных ранее экспериментальных и численных данных по струйному ВЧИ-разряду пониженного давления, формулировка положений и выводов диссертационной работы, научных основ создания струйного ВЧИ-разряда пониженного давления и технологических основ применения полученных результатов при создании и внедрении конструкций ВЧИ-плазменных установок и технологических процессов модификации твердых тел.