Разработка конструкций и технологии изготовления трехмерных интегральных структур, повышающих эффективность холодной эмиссии в устройствах микровакуумной техники

12.10.2016

Объект исследования – переключатели на основе автоэлектронной эмиссии.Цель работы – выявление трехмерных конструктивных и физико-технологических факторов, влияющих на эффективность холодной эмиссии, разработка конструкций и технологии изготовление трехмерных интегральных структур с повышенной эффективностью холодной эмиссии.При выполнении проекта будут разработаны технологии создания материалов и конструкций катодно-сеточного узла (КСУ) для изготовления элементов с повышенной эффективностью холодной эмиссии, методики экспериментальных исследований трехмерных конструкций приборов с холодной эмиссией электронов и трехмерная модель КСУ.

ГРНТИ

47.33.31 Интегральные микросхемы

Ключевые слова

СВЧ ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЬ

МИКРОВАКУУМНЫЕ ПРИБОРЫ

УГЛЕРОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ

АВТОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ

ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ КОМПЛЕКС

ТРЕХМЕРНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СТРУКТУРЫ

Детали

Начало

26.09.2016

Окончание

31.12.2018

№ контракта

Соглашение № 14.578.21.0219

Заказчик

Министерство образования и науки Российской Федерации

Исполнитель

Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"

Бюджет

Средства федерального бюджета: 31 000 000 ₽

ИКРБС

№ АААА-Б18-218100490013-3, № АААА-Б18-218111390010-9

РИД

№ АААА-Г19-619041690038-5, № АААА-Г18-618052190026-4, № АААА-Г19-619041690039-2

Похожие документы

Проведение теоретических исследований по выбору конструкции и технологии изготовления трехмерных интегральных структур катодно-сеточного узла и обоснование направления исследований

0.949

ИКРБС

Разработка технологии и исследование материалов и конструкций катодно-сеточного узла для изготовления элементов с повышенной эффективностью холодной эмиссии, включая методики экспериментального исследования

0.926