Проведение теоретических исследований по выбору конструкции и технологии изготовления трехмерных интегральных структур катодно-сеточного узла и обоснование направления исследований

Объект исследования: трехмерные интегральные структуры с повышенной эффективностью холодной эмиссии для применения в устройствах микровакуумной техники. Цель: выявление трехмерных конструктивных и физико-технологических факторов, влияющих на эффективность холодной эмиссии, разработка конструкций и технологии изготовления трехмерных интегральных структур с повышенной эффективностью холодной эмиссии. Результаты могут быть использованы при разработке элементной базы наноэлектроники, основанной на автоэмиссионных приборах, которые позволяют получить следующие лучшие характеристики по сравнению с другой полупроводниковой элементной базой: повышенная мощность выходного сигнала за счет высокого пробивного напряжения активного элемента, относительно низкие проходные потери, высокая радиационная и температурная стойкость, высокое быстродействие, определяемое инерционностью электронного пучка и паразитными емкостями электродов, которые могут быть минимизированы с помощью методов интегральной технологии. Существенным преимуществом разрабатываемых приборов с холодной эмиссией является высокая радиационная и температурная стойкость, обусловленная транспортом тока (электронов) в вакууме. Область применения: разработка и производство микровакуумных приборов как отдельно, так и в составе интегральных схем для их функционально использования.