СВЧ разряд с многозарядными ионами в расходящейся струе газа.

Основная задача проекта – исследование механизмов формирования неравновесного СВЧ разряда в расходящемся потоке газа с целью развития новых способов генерации экстремально жесткого ультрафиолетового излучения в потоке многократно ионизованной плазмы для нужд проекционной литографии высокого разрешения. Будет развита теория сильно локализованного излучающего СВЧ разряда с многозарядной плазмой в расходящейся струе газа, включающая описание стационарного разряда с переходом через ионно-звуковой порог, анализ устойчивости стационарного разряда, анализ нестационарных процессов, связанных с переходом через ионно-звуковой барьер, учет эффектов пристеночной плазмы и охлаждения электронов при расширении потока, электродинамику разряда.