Источник экстремального ультрафиолетового излучения на основе СВЧ разряда в открытой магнитной ловушке

Проект направлен на развитие теории нового перспективного типа источников экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения для современной проекционной литографии, в которых для создания многозарядных ионов высокой кратности, излучающих в ЭУФ диапазоне, используется СВЧ разряд в потоке неравновесной многозарядной плазмы, удерживаемом внешним магнитным полем. Будут согласованно описаны газодинамика стационарного потока многозарядной плазмы переменного сечения, линейчатое излучение ионных фракций, влияние конструктивных особенностей системы удержания на характеристики плазмы и электродинамика поглощения СВЧ излучения, поддерживающего разряд. В ходе исследования будут проанализированы нестационарные процессы, приводящие к установлению устойчивых режимов горения разрядов данного типа, а также эффекты «запирания» ЭУФ излучения в объеме разряда. Полученные результаты станут основой для понимания механизмов формирования СВЧ разряда с многозарядными ионами в открытой магнитной конфигурации и будут впоследствии использованы для оптимизации экспериментов по созданию источника ЭУФ излучения на его основе.