Физические свойства плазмы в инновационных гибридных технологических газоразрядных системах, предназначенных для травления материалов и осаждения функциональных покрытий

Проект направлен на решение фундаментальной проблемы физики газового разряда, связанной с изучением на основе комплексных исследований многокомпонентной неравновесной плазмы гибридных разрядов: индуктивного ВЧ разряда с емкостной составляющей при отсутствии и наличии внешнего магнитного поля, «геликонного» ВЧ разряда, горящего в одном плазменном объеме с магнетронным или дуговым разрядами. Важными направлениями в рамках указанной проблемы является исследование взаимного влияния каналов разряда; выявление ключевых факторов, влияющих на параметры разряда, а именно на концентрацию атомов и молекул материалов, поступающих в разряд при распылении мишеней магнетрона или дугового источников, концентрацию и температуру электронов, пространственное распределение указанных величин; изучение состава и структуры функциональных покрытий, нанесенных с помощью магнетронного или дугового разрядов с ассистированием потоком ионов, образованных в индуктивном ВЧ разряде.В рамках проекта предполагается выделить области резонансного поглощения ВЧ мощности, выполнить комплексные, систематические исследования параметров разряда, а именно: компонентного состава, плотности и температуры электронов, ионного тока в области подложки, пространственного распределения указанных величин. Предполагается, что полученные в рамках проекта фундаментальные результаты позволят разработать инновационные технологические плазменные системы с гибко управляемыми параметрами плазмы.