Разработка метода получения нанокомпозитных покрытий разложением кремнийорганического прекурсора в сильноточном разряде с испаряемым анодом

Одними из перспективных защитных износостойких покрытий являются нанокомпозитные TiSiCN покрытия, обладающие высокой термостойкостью, стойкость к окислению, низким коэффициентом трения и превосходной износостойкостью. Актуальным направлением исследований является расширение возможностей существующих методов получения таких покрытий, повышение их эффективности, производительности и безопасности. Данный проект посвящен разработке нового способа плазмохимического осаждения nc-TiSiCN покрытий. Новизна работы обусловлена комплексным применением нескольких подходов, обеспечивающих контролируемое изменение состава активной газовой среды и формирование TiSiCN-покрытий с требуемыми свойствами с высокой скоростью в большом объеме. В частности, оригинальной и перспективной является идея использования разряда с самонакаливаемым полым катодом одновременно для активации паров кремнийорганичекого прекурсора (КОС), для разогрева тигля и создания потока паров Ti, а также для ионизации парогазовой среды и интенсивного ионного сопровождения. По результатам исследований будут определены условия функционирования газоразрядных систем, разрабатываемых для получения многокомпонентных нанокомпозитных покрытий методом PECVD c использованием КОС с анодным испарением, будут получены покрытия TiSiCN и впервые проведены комплексные исследования влияния давления и состава газовой смеси, плотности и энергии ионного потока, температуры образцов на состав, структуру и физико-химические свойства этих покрытий.