Развитие физических принципов, методов диагностики и изготовления сверхвысокоточных элементов многослойной рентгеновской оптики

Цели работы: - Получение нового научного знания о структурных и рентгенооптических свойствах многослойных интерференционных зеркал для экстремального ультрафиолетового и мягкого рентгеновского излучения. - Поиск новых материалов и развитие технологии инженерии интерфейсов с целью повышения оптического контраста на граница и увеличения коэффициентов отражения. - Развитие методов и изучение влияния микроструктуры пленок на упругие и неупругие потери интенсивности рентгеновского излучения при отражении. - Разработка новых методов напыления и ионно-пучковой коррекции формы рентгеновских зеркал для рентгеновской литографии и синхротронов следующего поколения. - Развитие методов высококогерентной и низко-когерентной оптической интерферометрии для изучения шероховатости и формы рентгенооптических элементов дифракционного качества. - Исследование генерации мягкого рентгеновского излучения в лазерно-плазменных источниках на основе сверхзвуковых газовых струй для рентгеновской литографии. - Поиск новых материалов и методов компенсации термоиндуцированных искажений зеркал при воздействии мощных пучков синхротронного излучения. - Развитие лабораторных методов исследования рентгенооптических характеристик элементов рентгеновской оптики с точностями, близкими к синхротронным исследования.. - Развитие методов аксиальной томографии с нанометровым разрешением для микроскопии в углеродном и водном окнах прозрачности. - Развитие физических и технологических основ рентгеновской литографии на длинах волн короче 13,5 нм.