Разработка и исследование новых оптических элементов для мягкой рентгеновской области спектра (5 – 25 нм)

Проект нацелен на развитие отечественной оптико-элементной базы мягкого рентгеновского диапазона (5 – 25 нм) в интересах проекционной рентгеновской литографии, рентгеновской оптики и спектроскопии. Проект предполагает разработку, изготовление, исследование и характеризацию многослойных зеркал, VLS-решеток, делителей пучка, внеосевых отражательных зонных пластин, а также VLS-решеток для специализированного инновационного монохроматора. Для получения рентгеновских зеркал на основе многослойных периодических и апериодических структур металл-спейсер, будет задействована технология RF-распыления, особенностью которой является малые скорости осаждения материала (от 1 - 4 нм/мин.). Будут использоваться технологии электронно-лучевой и интерференционной литографии. Испытания элементов рентгеновской оптики пройдут в вакуумной камере длиной 3,8 м, оснащенной лазерно-плазменным источником излучения. Разработка элементной базы позволит в будущем создать прецизионный рефлектометр на диапазон 5–25 нм, включающий все три литографические длины волны (13,5, 11,2 и 6,7 нм), измерять спектральную яркость и пространственный размер источников, а также спектральную чувствительность детекторов излучения.