Исследование процессов формирования наноразмерных графеновых структур методом атомного-слоевого плазмохимического травления на поверхности карбида кремния

Актуальность проекта связана с прогрессом в области использования новых перспективных наноматериалов и способов их создания: большим спросом на энергоэффективные, малогабаритные многоразовые сенсоры, обеспечивающие быстрое время срабатывания, долговечность, миниатюризацию и энергоэффективность, а также способность интеграции в роботизированные системы. Научная проблема, на решение которой направлен проект – разработка научно-обоснованных подходов, принципов и технологий создания новых перспективных наноматериалов для нужд микроэлектронном промышленности. В проекте будет разработана технология формирования графеновых структур комбинацией методов фокусированных ионных пучков и плазмохимического травления, позволяющая получить наноразмерные структуры на поверхности подложки карбида кремния, без применения оптической фотолитографии. Использование современных наноматериалов позволят повысить быстродействие, надежность, а также снизить энергопотребление устройств микро- и наноэлектроники. Решение данной научной проблемы обеспечит не только развитие фундаментального базиса для разработки устройств с функциональными пленками графена на основе применения стандартных технологий микро- и наноэлектроники, но и обеспечит мощный импульс развитию и внедрению данной технологии. Основные задачи проекта: - проведение комплексных теоретических исследований процессов формирования плёнок графена плазменными методами; - определение закономерностей влияния режимов формирования графеновых пленок на их структурные и электрофизические параметры; - разработка методики исследования графеновых пленок; - разработка и исследование параметров макетов элементов микро- и наноэлектроники на основе графеновых пленок; - разработка архитектуры сенсора газов на основе с чувствительным элементом на основе графеновой пленки. Научная новизна исследований: - установление закономерностей влияния режимов синтеза графеновой плёнки методом плазмохимического травления; - установление закономерностей влияния режимов двустадийного атомно-слоевого плазменного травления карбида кремния на электрофизические параметры структур; - разработка принципов проектирования элементов микро- и наноэлектроники на основе графеновых пленок.