НИОКТР
№ 125020501531-7Исследование и разработка масштабируемой технологии изготовления МЭМС-структур сенсоров на основе кремниевых кристаллов с массивом микронагревателей
31.01.2025
Объект исследования – технология изготовления МЭМС-структуры газового сенсора на основе кремниевых кристаллов.
Цель работы – создание технологических инструкций изготовления МЭМС-структур сенсоров на основе кремниевых кристаллов с массивом микронагревате-лей. Для достижения поставленной цели исследовалась технология изготовления МЭМС-структур с микронагревателями и на ее основе разрабатывалась технологи-ческая последовательность изготовления МЭМС-структур сенсоров.
В результате решения данной задачи разработаны технологические инструк-ции изготовления МЭМС-структур сенсоров на основе кремниевых кристаллов.
ГРНТИ
47.14.07 Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
Ключевые слова
Газовый сенсор
МЭМС
Микронагреватель
Кремниевая технология
Технологическая инструкция
Детали
Начало
28.08.2024
Окончание
05.12.2024
№ контракта
1025-223-2024
Заказчик
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ М.В.ЛОМОНОСОВА"
Исполнитель
Федеральное государственное бюджетное научное учреждение «Научно-производственный комплекс «Технологический центр"
Бюджет
Средства хозяйствующих субъектов: 3 000 000 ₽
Похожие документы
Исследование и разработка масштабируемой технологии изготовления МЭМС-структур сенсоров на основе кремниевых кристаллов с массивом микронагревателей
1.000
НИОКТР
Разработка МЭМС-конструкции для полупроводникового химического газового сенсора
0.941
ИКРБС
Исследование и разработка конструкции кристалла МЭМС-структур сенсоров на основе кремния
0.939
НИОКТР
Создание МЭМС сенсора на основе микрогравированной керамики и наноструктурированных материалов
0.934
ИКРБС
Корпусирование и исследование изготовленных сенсоров на селективность, стабильность и чувствительность к целевым газам
0.927
ИКРБС
Разработка МЭМС-конструкции для полупроводникового химического газового сенсора
0.925
НИОКТР
Теоретические и экспериментальные исследования конструктивно-технологических методов создания кристалла МЭМС ИК-источника излучения
0.917
ИКРБС
Разработка и исследование тепловых преобразователей на основе мембранной МЭМС-технологии для семейства датчиков физических величин
0.917
ИКРБС
Исследование научно-технических основ создания датчиков физических величин на основе мембранной МЭМС-технологии
0.910
ИКРБС
Разработка и исследование тепловых преобразователей на основе мембранной МЭМС-технологии для семейства датчиков физических величин
0.909
ИКРБС