Способ изготовления солнечного элемента

В способе изготовления солнечного элемента с n+ - р - р+ структурой, включающем осуществление операции создания на тыльной поверхности кремниевой пластины р+-слоя, легированного бором, путем одновременной диффузии бора и фосфора при термообработке кремниевой пластины с нанесенными на тыльную и лицевую ее поверхности боросиликатной и фосфоросиликатной пленок соответственно, удаление слоя кремния и текстурирование на лицевой поверхности в одном технологическом процессе, формирование на лицевой поверхности кремниевой пластины n+-слоя, легированного фосфором, диффузией фосфора из нанесенного источника и формирование контактов, после удаления слоя кремния и текстурирования лицевой стороны осуществляют защиту полученного на тыльной поверхности кремниевой пластины р+-слоя путем нанесения на него защитного слоя в одном технологическом процессе с диффузией фосфора для получения n+-слоя на лицевой поверхности кремниевой пластины, при этом перед формированием контактов указанный защитный слой удаляют. За счет указанной в предлагаемом способе совокупности и последовательности операций достигается стабильность технологического процесса и повышение качества СЭ.