Способ изготовления мультиэлектродного газоаналитического чипа на основе мембраны нанотрубок диоксида титана

1. Способ изготовления мультиэлектродного газоаналитического чипа на основе мембраны нанотрубок диоксида титана, характеризующийся тем, что нанотрубки диоксида титана формируют методом электрохимического анодирования титана в электрохимической ячейке в электролите с добавкой фторида аммония до 1 масс. % при постоянном напряжении в течение 20-300 минут до завершения формирования нанотрубок высотой до 10 мкм и толщиной стенок до 100 нм, остатки титанового подслоя удаляют в растворе метилового спирта с добавкой брома в объемном соотношении 1:8÷1:10 при комнатной температуре, полученную мембрану из нанотрубок диоксида титана последовательно промывают в спиртовых растворах до удаления следов раствора травления и переносят в емкость, где помещают на поверхность дистиллированной воды, откуда мембрану из нанотрубок диоксида титана осаждают на поверхность подложки чипа путем вытягивания из раствора и сушат на воздухе при комнатной температуре до удаления воды. 2. Способ по п. 1, характеризующийся тем, что в качестве электролитов используют водные, водно-органические или органические растворы с содержанием воды от 2 до 92 масс. %. 3. Способ по п. 2, характеризующийся тем, что при анодировании в водных растворах прикладывают постоянное напряжение в интервале от 10 до 100 В. 4. Способ по п. 2, характеризующийся тем, что при анодировании в органических и водно-органических растворах прикладывают постоянное напряжение в интервале от 10 до 150 В. 5. Способ по п. 1, характеризующийся тем, что для промывки полученной мембраны нанотрубок диоксида титана применяют метиловый и этиловый спирты или их смеси.