Интегральный преобразователь давления

1. Интегральный преобразователь давления, содержащий кремниевый кристалл n-типа проводимости с плоской рабочей поверхностью и тонкой мембраной в центре кристалла с обратной стороны, на рабочей поверхности которого сформированы радиальные тензорезисторы р-типа проводимости, соединенные с помощью металлической электрической разводки в мостовую схему, отличающийся тем, что мембрана выполнена квадратной, на поверхности которой с обратной стороны кристалла методом анизотропного травления сформирован квадратный жесткий центр, при этом по периметру мембраны и жесткого центра с рабочей стороны кристалла выполнены одинаковые по форме и размерам тензорезисторы, соединенные попарно, образуя четыре полумоста, с возможностью выбора идентичных рабочих тензорезисторов для настройки температурных уходов выходного сигнала, а на рабочей поверхности кристалла вне зоны мембраны выполнены гальванически развязанные три группы сопротивлений из последовательно соединенных резисторов, с возможностью выбора номинала сопротивления для настройки выходных сигналов, и четыре последовательно соединенных терморезистора, расположенных на одинаковом расстоянии друг от друга по периметру рабочей поверхности кристалла. 2. Интегральный преобразователь давления по п. 1, отличающийся тем, что на рабочей поверхности кристалла для изоляции сформирован диэлектрический слой