РИД
№ 616020410010Программа расчета топологии микромеханических акселерометров на основе библиотеки микрофрагментов
04.02.2016
Разработанная программа предназначена для построения и расчета топологии микромеханических акселерометров в топологическом редакторе L-Edit системы автоматизированного проектирования Tanner Pro с использованием микрофрагментов. Исходными данными являются значения собственных частот колебаний, технологические нормы изготовления, диапазоны колебаний чувствительных элементов, диапазоны внешних воздействий. Выходными данными является топология сенсора.
ГРНТИ
47.33.37 Приборы функциональной микроэлектроники
47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
Ключевые слова
МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ АКСЕЛЕРОМЕТРЫ
СОБСТВЕННЫЕ ЧАСТОТЫ КОЛЕБАНИЙ
СЕНСОР
ТОПОЛОГИЯ
Детали
НИОКТР
№ 01201458539
Тип РИД
Программа для ЭВМ
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
Заказчик
Министерство образования и науки Российской Федерации
Похожие документы
Программа расчета параметризуемой модели для построения топологии интегрального микромеханического туннельного акселерометра
0.941
РИД
Программа расчета параметризуемой модели для построения топологии интегрального микромеханического акселерометра
0.935
РИД
Программа расчета параметров для построения конструкции интегрального микромеханического туннельного акселерометра
0.927
РИД
Программа расчета параметризуемой модели для построения топологии интегрального микромеханического резонатора
0.922
РИД
Программа расчета параметризуемой трехмерной модели интегрального микромеханического акселерометра
0.914
РИД
Программа расчета параметризуемой трехмерной модели интегрального микромеханического акселерометра
0.914
РИД
Программа моделирования микромеханических многомассовых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с тремя осями чувствительности
0.906
РИД
Программа расчета напряженно-деформированного состояния параметризуемого туннельного акселерометра на основе композитных упругих нанооболочек
0.899
РИД
Программа расчета параметров структуры и статического анализа МЭМС-акселерометра с модифицированным упругим подвесом на основе самоорганизующихся полупроводниковых структур
0.898
РИД
Программа расчета напряженно-деформированного состояния параметризуемого интегрального микромеханического туннельного акселерометра
0.898
РИД