РИД
№ АААА-Г16-616101410011-8Программа расчета параметризуемой модели для построения топологии интегрального микромеханического акселерометра
14.10.2016
Разработанная программа предназначена для расчета частоты перемещений, амплитуды отклонений инерционных масс, жесткости подвесов данной конструкции. Исходными данными являются геометрические размеры устройства, электромеханические свойства структурного материала. Выходными данными являются конфигурация, топология конструкции, построенная в соответствии с правилами MUMPS –технологии.
ГРНТИ
47.33.37 Приборы функциональной микроэлектроники
47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
Ключевые слова
МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР
ЧАСТОТА ПЕРЕМЕЩЕНИЙ
ЖЕСТКОСТЬ ПОДВЕСОВ
ТОПОЛОГИЯ
MUMPS –ТЕХНОЛОГИЯ
Детали
НИОКТР
№ 01201458539
Тип РИД
Программа для ЭВМ
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
Заказчик
Министерство образования и науки Российской Федерации
Похожие документы
Программа расчета параметризуемой модели для построения топологии интегрального микромеханического туннельного акселерометра
0.991
РИД
Программа расчета параметризуемой трехмерной модели интегрального микромеханического акселерометра
0.938
РИД
Программа расчета параметризуемой трехмерной модели интегрального микромеханического акселерометра
0.938
РИД
Программа расчета топологии микромеханических акселерометров на основе библиотеки микрофрагментов
0.935
РИД
Программа расчета параметризуемой модели для построения топологии интегрального микромеханического резонатора
0.919
РИД
Программа расчета параметров для построения конструкции интегрального микромеханического туннельного акселерометра
0.918
РИД
Программа моделирования микромеханических многомассовых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с тремя осями чувствительности
0.916
РИД
Программа расчета параметров структуры и статического анализа МЭМС-акселерометра с модифицированным упругим подвесом на основе самоорганизующихся полупроводниковых структур
0.914
РИД
Программа расчета напряженно-деформированного состояния параметризуемого интегрального микромеханического туннельного акселерометра
0.911
РИД
Программа расчета статических характеристик чувствительного элемента микромеханического гироскопа-акселерометра
0.906
РИД